极柱高度&顶盖平面度检测
测量项目:高度差、平面度
产品
|
工作参考距离(mm)
|
Z向视野(mm)
|
X轴参考线宽(mm)
|
Z轴重复精度(μm)
|
X轴轮廓点数
|
扫描速度(Hz)
|
对比
|
收藏
|
---|